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適用于化學工業的干式真空泵有哪些?

文章出處:真空泵知識 網站編輯: 雅之雷德 閱讀量: 發表時間:2020-11-27 15:48:12

  早期的干式泵是由羅茨型多級轉子或爪型多級轉子串聯而成,它們與泵腔內沒有接觸,用同步齒輪驅動兩個平行的轉子軸,由于泵腔內沒有液體,因此內部間隙應盡量保持很小,以減少氣體返流。但這一微小的間隙對過程顆粒的堆積非常敏感,目前解決這一問題的方法是:將惰性氣體從泵的入口中充入,或用惰性氣體稀釋可凝固的腐蝕氣體。

  在半導體行業應用的成功,也激勵了干泵制造商將其引入化工行業,盡管干泵價格昂貴,但操作成本較低,特別是不存在廢液處理問題,這有利于環境和健康。現在干泵有很多種類型,包括渦旋泵,隔膜泵,干旋片泵,羅茨型干泵,爪式干泵和螺旋真空泵。羅茨型干泵、爪式干泵和螺桿式真空泵在化工行業應用中占主導地位。

干式真空泵

  一、圓柱型干泵

  羅茨型干泵是化工行業廣泛使用的一種較大的干式真空泵。該泵是由三層三葉型羅茨轉子串聯而成,它們安裝在同一根軸線上,各個轉子之間由中段隔開,形成各個級別的泵腔,上一級的排氣口與下一級的進氣口串聯,各個級別的排氣口串聯進行抽氣。所有級別的轉子直徑和形狀都相同,所有級別轉子的寬度朝高壓側方向變窄,但這種設計都要求級間冷卻,也就是,所有級別的轉子經過熱交換器冷卻后,再進入下一級別的入口。

  二、干爪泵

  爪式泵已于1930年進行了研究,并首次應用于壓縮機工業,爪式轉子具有高壓高壓縮比的特點。爪式轉子還有兩種功能:一種是用于截獲、輸送和壓縮氣體,另一種類似于閥門,用于在適當的時候開啟和關閉吸氣和排氣。現有此類泵的結構設計多采用一級羅茨轉子與三級爪式轉子串聯,以羅茨轉子為高真空級,以爪式轉子為壓縮排氣級。

  三、螺旋真空泵

  螺旋真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種,具有抽速范圍寬,結構簡單緊湊,泵腔內無摩擦組件,能耗低,無廢液排放,操作成本低等諸多優點,被廣泛應用于半導體、光電、化工、醫藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域。

  螺旋真空泵工作原理:螺旋機構由一對同步齒輪驅動,螺桿反向旋轉,螺旋機構在螺旋機構和螺旋機構之間,螺旋機構和泵腔之間有一定的間隙,無金屬接觸。這樣螺桿在轉動的過程中就會從進氣口被吸進和排出。

  相對于羅茨型干泵和爪式泵,螺桿式真空泵抽氣距離短,不受干擾,能快速排出,從而使泵中的微粒雜質不易積聚。

  此外,因為大多數螺桿真空泵用于抽除腐蝕性或危險氣體,為了防止泵腔和螺桿被腐蝕或銹蝕,并延長泵的使用壽命,可根據不同用途采用下列不同涂層:

  液體環形泵結構簡單,運動部件少,操作、維修方便,價格也比較低廉。螺旋真空泵雖然價格較高,但其性能非常優越,運行費用較低,不會產生廢液,既節能又環保。因此,以上兩種真空泵最適合在化工過程中使用。


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